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晶圆缺陷智能分析解决方案
借助华为AI推理服务器,为半导体晶圆智能化升级解决AOI设备误判率高、耗费人力、影响生产效率的问题
概述
架构图
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方案咨询
基于昇腾AI基础软硬件与埃克斯提供质检算法,半导体晶圆智能分析解决方案已与各种CIM/IT系统进行深度整合,形成完善的质检分析、溯源以及生产管控系统。采集到晶圆图片后,部署在边缘的Atlas 800 推理服务器可以实时进行缺陷分析,判断晶圆质量,同时将未识别图像回传至云端,云端的Atlas 800 训练服务器基于增量的未识别图片进行持续训练完成模型升级,新模型训练完成后可以直接对端侧模型进行更新,形成边云协同的闭环。
图片复判效率高
5万片wafer每月的工厂,大约每秒中产生1000多张图像,基于该方案可实时对所有AOI图像进行复判
高识别准确率
晶圆缺陷的识别、分类达到99%以上准确率
大幅度降低员工工作量
员工工作量降低40%,同时大幅提升员工工作感知,投入更高阶工作
质量控制闭环
及时记录详细的缺陷分类,快速对上游生产设备进行工艺参数闭环修正,实现质量控制闭环
架构图
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